分光エリプソメトリによるHfO_2薄膜成長過程のその場観察:第一原理計算との比較
分光エリプソメトリによるHfO_2薄膜成長過程のその場観察:第一原理計算との比較
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椭圆偏振光谱法原位观察HfO_2薄膜生长过程：与第一原理计算的比较
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鄭 仰東
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Yamazato;et al.;鄭 仰東
