ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工,65巻1号
ワイドバンドギャップ半導体基板の原子スケール平坦化加工,65巻1号
复制标题
宽带隙半导体衬底的原子级平坦化，第 65 卷，第 1 期
DOI：
--
复制
发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
久保田章亀
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Takahiro Shimada;Xiaoyuan Wang;Takayuki Kitamura;久保田章亀
