半導体デバイス工学
半導体デバイス工学
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半导体器件工程
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
大村泰久編著(分担執筆者:沼居貴陽)
中科院分区:
文献类型:
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作者:
T. Yoshida;M. Noda;S. Yamaguchi;H. Uchida;M. Umeno;and K. Wakita;大村泰久編著(分担執筆者:沼居貴陽)