Plasma etching for micromechanical sensor applications
Plasma etching for micromechanical sensor applications
复制标题
用于微机械传感器应用的等离子蚀刻
DOI：
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发表时间：
1994
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
P. Dumania
中科院分区：
文献类型：
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作者：
I. Rangelow;S. Skocki;P. Dumania
