Experimental Verification for Super-resolution Optical Inspection for Semiconductor Defect by using Standing Wave Illumination Shift
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复制标题
驻波照明位移超分辨光学检测半导体缺陷的实验验证
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Takamasu
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Usuki;H. Nishioka;S. Takahashi;K. Takamasu
