Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain
Mechanical testing of micro samples produced by a novel LIGA related process chain
复制标题
对由新颖的 LIGA 相关工艺链生产的微样品进行机械测试
DOI：
10.1007/s00542-011-1256-4
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Ritzhaupt-Kleissl
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Prokop;Prüfe;Lorenz;Piotter;Ritzhaupt-Kleissl
在本文中，一个新的LIGA相关的工艺链，名为MSG过程[德国多组分注塑成型（MS）和电镀（G）的首字母缩略词]作为一个有前途的生产周期的微型测试样品的复制。通过LIGA工艺制造的结构以及例如微铣削结构可以被复制。本工作的重点是两个方面：第一，不同的复制结构的精度进行了调查，第二，表面质量对电沉积纳米晶材料的机械性能的影响进行了测试。因此，通过使用不同的方法制造微样品，导致测量的表面质量的变化。LIGA和微研磨样品的表面可以使用该过程精确地复制。此外，还可以显示在工艺中发生了哪些尺寸变化，以及这如何受到原始结构表面的影响。最后，初步的机械试验表明，成功的应用味精工艺。
In this paper, a new LIGA related process chain, named MSG process [German acronym for multicomponent injection molding (MS) and electroplating (G)] is presented as a promising production cycle for the replication of micro-testing samples. Structures manufactured by the LIGA process but also e.g. micro-milled structures can be reproduced. The focus of this work was two fold: First, the accuracy of different replicated structures was investigated, and second, the influence of the surface quality on mechanical performance of electrodeposited nanocrystalline materials was tested. Therefore, micro samples were manufactured by the use of different methods resulting in a variation of the measured surface quality. The surface of LIGA and micro-milled samples can be accurately replicated using this process. Furthermore, it can be shown which dimensional variations within the process occur and how this is influenced by the surface of the original structure. Finally, preliminary mechanical tests are presented which show the successful application of the MSG process.
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