ArF液浸リソグラフィで作製したエレファントカプラ
ArF液浸リソグラフィで作製したエレファントカプラ
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采用 ArF 浸没式光刻技术制造的大象耦合器
DOI：
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发表时间：
2018
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
榊原 陽一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
吉田 知也;渥美 裕樹;面田 恵美子;榊原 陽一
