Generation of multi thin layers of SiC/Si by Molecular Beam Epitaxy and its application
Generation of multi thin layers of SiC/Si by Molecular Beam Epitaxy and its application
复制标题
分子束外延制备SiC/Si多层薄膜及其应用
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
A.Kakuta
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Doi;N.Moronuki;A.Kakuta
