熱プラズマCVD法によるTiBC,TiBN,SiNx単層膜とTiBC-SiNxとTiBN-SiNx二層膜の作製とその耐摩耗性評価
熱プラズマCVD法によるTiBC,TiBN,SiNx単層膜とTiBC-SiNxとTiBN-SiNx二層膜の作製とその耐摩耗性評価
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热等离子体CVD法制备TiBC、TiBN、SiNx单层薄膜和TiBC-SiNx、TiBN-SiNx双层薄膜及其耐磨性评价
DOI：
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发表时间：
2007
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
清野 肇
中科院分区：
文献类型：
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作者：
藤 祐輔;嶋田 志郎;清野 肇
