Au/Siバイモルフ梁を集積化したナノグレーティング光位相変調素子の光学特性評価
Au/Siバイモルフ梁を集積化したナノグレーティング光位相変調素子の光学特性評価
复制标题
集成金/硅双压电晶片纳米光栅光学相位调制器件的光学特性评估
DOI：
--
复制
发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
梅田 倫弘
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
志村 崇;岩見 健太郎;梅田 倫弘
