高真空対応の流体潤滑機構（イオン液体を用いた半導体製造装置用高真空対応流体軸受機構）
高真空対応の流体潤滑機構（イオン液体を用いた半導体製造装置用高真空対応流体軸受機構）
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对应高真空的流体润滑机构（使用离子液体的半导体制造装置对应高真空的流体动压轴承机构）
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
杣谷啓
中科院分区：
文献类型：
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作者：
岡部貴雄;杣谷啓
