H.Noguchi: "Fabrication and Evaluation of Diamond/SiC Double Layer Membrane for X-Ray Mask" J.Electrochem.Soc.144(9). 3304-3308 (1997)
H.Noguchi: "Fabrication and Evaluation of Diamond/SiC Double Layer Membrane for X-Ray Mask" J.Electrochem.Soc.144(9). 3304-3308 (1997)
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H.Noguchi：“X 射线掩模用金刚石/SiC 双层膜的制造和评估”J.Electrochem.Soc.144(9)。
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