Synthesis of silicon nanocones using rf microplasma jet at atmospheric pressure
Synthesis of silicon nanocones using rf microplasma jet at atmospheric pressure
复制标题
在大气压下使用射频微等离子体射流合成硅纳米锥
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Hasegawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
H.Shirai;T.Kobayashi;Y.Hasegawa
