微小流路反応器を用いる銅めっき用添加剤の吸着挙動の解析
微小流路反応器を用いる銅めっき用添加剤の吸着挙動の解析
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微通道反应器对镀铜添加剂的吸附行为分析
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
近藤和夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
宮本豊;服部直;岡本尚樹;齊藤丈靖;近藤和夫
