HfO2薄膜の誘電特性:結晶構造依存性
HfO2薄膜の誘電特性:結晶構造依存性
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HfO2 薄膜的介电性能：取决于晶体结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
涌井貞一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Nakamura;A. Natori;涌井貞一;谷内良亮;田村雅大;田村雅大;谷内良亮;涌井貞一
