Etching of diamond-like carbon in fluorocarbon plasmas
Etching of diamond-like carbon in fluorocarbon plasmas
复制标题
氟碳等离子体中类金刚石碳的蚀刻
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Kazuo Takahashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rei Takahashi;Kazuo Takahashi
