Fabrication Methods Based on Wet Bulk Micromachining for the Realization of Advanced MEMS Structures
Fabrication Methods Based on Wet Bulk Micromachining for the Realization of Advanced MEMS Structures
复制标题
基于湿法体微机械加工的制造方法，用于实现先进的 MEMS 结构
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
K. Sato
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Prem Pal;K. Sato
