Electrical characterization of exposure time dependence of plasma-induced radiation damage to SiO2 films: Early-stage degradation turnover in the progressive phase
Electrical characterization of exposure time dependence of plasma-induced radiation damage to SiO2 films: Early-stage degradation turnover in the progressive phase
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SiO2 薄膜等离子体诱导辐射损伤的暴露时间依赖性的电学特征：进展阶段的早期降解周转
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Koji Eriguchi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tomohiro Kuyama;Shohei Yura;Keiichiro Urabe;Koji Eriguchi
