Hidehiko YASUI,Akio YAMAMOTO,Toshiro HIGUCHI: "Electrostatic Levitation of 300-mm Silicon Wafer"Proceedings of the 2000 International Symposium on Mechatronics and Intelligent Mechanical System for 21 Century (ISIM2000). 51-54 (2000)
Hidehiko YASUI,Akio YAMAMOTO,Toshiro HIGUCHI: "Electrostatic Levitation of 300-mm Silicon Wafer"Proceedings of the 2000 International Symposium on Mechatronics and Intelligent Mechanical System for 21 Century (ISIM2000). 51-54 (2000)
复制标题
Hidehiko YASUI，Akio YAMAMOTO，Toshiro HIGUCHI：“300毫米硅片的静电悬浮”2000年21世纪机电一体化和智能机械系统国际研讨会（ISIM2000）论文集。
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
