Characterization of Argon/Hydrogen Inductively Coupled Plasma for Carbon Removal over Multilayer Thin Films

Characterization of Argon/Hydrogen Inductively Coupled Plasma for Carbon Removal over Multilayer Thin Films
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DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
Coatings
影响因子：
3.4
通讯作者：
Rainer Kling
Rainer Kling
中科院分区：
材料科学3区
文献类型：
--
作者：
Yi Wang;Tim Gehring;Qihao Jin;Jan Dycke;Rainer Kling

文献摘要

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