炭化水素系化学吸着単分子膜と四フッ化酸素プラズマを用いたフッ化炭素化学吸着単分子膜の作製
炭化水素系化学吸着単分子膜と四フッ化酸素プラズマを用いたフッ化炭素化学吸着単分子膜の作製
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利用碳氢化合物化学吸附单层和四氟氧等离子体制备氟碳化学吸附单层
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
須崎嘉文
中科院分区：
文献类型：
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作者：
馬暁媛;小川一文;須崎嘉文
