Masatomo Sumiya et.al.: "Fabrtcation of nighly Stable and Low defect a-Si:H frlms at low Subswate temperature by Plasma Chemical Vapw boposition." Jpn.J.Appl.Phys.34. L97-L100 (1995)
Masatomo Sumiya et.al.: "Fabrtcation of nighly Stable and Low defect a-Si:H frlms at low Subswate temperature by Plasma Chemical Vapw boposition." Jpn.J.Appl.Phys.34. L97-L100 (1995)
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Masatomo Sumiya 等人：“通过等离子体化学 Vapw boposition 在低温下制造高度稳定和低缺陷的 a-Si:H 薄膜。”
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