基板入射イオンの選択性が及ぼすAlTiN硬質膜結晶成長への影響
基板入射イオンの選択性が及ぼすAlTiN硬質膜結晶成長への影響
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基底上入射离子选择性对AlTiN硬膜晶体生长的影响
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
荒川光，山村雄大，小宮英敏，徳田祐樹，寺西義一，楊明，清水徹英
中科院分区：
文献类型：
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作者：
R. Omae;S. Sumitani;Y. Tosa;S. Harada;荒川光，山村雄大，小宮英敏，徳田祐樹，寺西義一，楊明，清水徹英
