粉体ターゲットプロセスによるFe, Ti混合傾斜機能性膜の作製
粉体ターゲットプロセスによるFe, Ti混合傾斜機能性膜の作製
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采用粉末靶材工艺制备Fe、Ti混合功能梯度薄膜
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川崎仁晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
加納安彦;林健司・佐々文洋・金子茂・粕谷英一・安田章人・細谷忠嗣・朝廣和夫・細淵貴司・小池幸生;大貫麻美，石沢順子，椎橋元貴;木村竜哉，大前暁政;川崎仁晴
