Development of Micro Polishing System Using Piezoelectric Actuator Incorporated with Mechanical Amplitude Magnified Mechanism
Development of Micro Polishing System Using Piezoelectric Actuator Incorporated with Mechanical Amplitude Magnified Mechanism
复制标题
机械振幅放大机构压电驱动器微抛光系统的研制
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Toshiro Higuchi and Weimin Lin
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sze Keat Chee;Hirofumi Suzuki;Takeshi Yano;Toshiro Higuchi and Weimin Lin
