千葉繁生: "流動層CVD法によるSi_3N_4微粒子のAlN被覆" 化学工学論文集. 22. 412-415 (1996)

千葉繁生: "流動層CVD法によるSi_3N_4微粒子のAlN被覆" 化学工学論文集. 22. 412-415 (1996)
复制标题

Shigeo Chiba:“通过流化床CVD法对Si_3N_4颗粒进行AlN涂层”《化学工程杂志》22. 412-415 (1996)。

DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
--
中科院分区:
--
文献类型:
--
作者:

文献摘要

相似文献