水素希釈炭化水素プラズマによるDLC薄膜堆積プロセスの分子動力学シミュレーション解析
水素希釈炭化水素プラズマによるDLC薄膜堆積プロセスの分子動力学シミュレーション解析
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氢稀烃等离子体DLC薄膜沉积过程的分子动力学模拟分析
DOI：
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发表时间：
2011
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
村上泰夫
中科院分区：
文献类型：
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作者：
仲谷友孝、吉朝朗;他;郡 和範;Fumio Hirata;村上泰夫
