酸素ラジカル処理を用いた強誘電体BiFeO3薄膜の形成技術

酸素ラジカル処理を用いた強誘電体BiFeO3薄膜の形成技術
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采用氧自由基处理的铁电BiFeO3薄膜形成技术

DOI:
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发表时间:
2015
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
須川成利
須川成利
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
今泉文伸;後藤哲也;寺本章伸;須川成利

文献摘要

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