パルスアークプラズマ法により合成した窒化チタンアルミ系硬質膜の耐摩耗機能
パルスアークプラズマ法により合成した窒化チタンアルミ系硬質膜の耐摩耗機能
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脉冲电弧等离子体法合成氮化铝钛硬质薄膜的耐磨性
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
長谷川裕之
中科院分区：
文献类型：
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作者：
進藤楓真;寺戸章人;長谷川裕之
