Characteristics of the 2nd Harmonic ECR Micro Plasma by using PIC-MC Simulation-猫眼课题宝

使用 PIC-MC 模拟二次谐波 ECR 微等离子体的特性

DOI：

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发表时间：

2005

期刊：

Proc.5th Asian-European Int.Conf.on Plasma Surface Engineering

影响因子：

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通讯作者：

中科院分区：

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文献类型：

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作者：

D.Kurogil;Y.Matsuda;H.Fujiyama;S.J.Kim;J.K.Lee