级联式高阶Σ△M数字式闭环微机械加速度计
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DOI：
10.13695/j.cnki.12-1222/o3.2016.03.022
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
张勇军
中科院分区：
文献类型：
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作者：
陈方;刘卫平;刘礼;张勇军
