ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究（第1報） -二平面間の距離測定-
ファブリーペロー共振器を用いたマイクロCMMのプローブ径補正用ゲージの研究（第1報） -二平面間の距離測定-
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使用法布里-珀罗谐振器的微型三坐标测量机探头直径校正仪的研究（第一篇报告） - 两个平面之间的距离测量 -
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
加藤千聖，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋 哲
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akihiro Ikeda;Teiji Uozumi;Akimasa Yoshikaw;Akiko Fujimoto;Shuji Abe;加藤千聖，門屋祥太郎，道畑正岐，高橋 哲
