ホロー効果を用いたプラズマプロセス装置におけるプラズマ密度のガス圧力依存性
ホロー効果を用いたプラズマプロセス装置におけるプラズマ密度のガス圧力依存性
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使用中空效应的等离子体处理设备中等离子体密度的气体压力依赖性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大津康徳
中科院分区：
文献类型：
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作者：
松本直樹;大津康徳
