Γ-profilometry: a new paradigm for precise optical metrology.
Γ-profilometry: a new paradigm for precise optical metrology.
复制标题
δ-轮廓测量：精密光学计量的新范例
DOI：
10.1364/oe.434510
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
3.8
通讯作者：
R. B.: Γ-profilometry
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Falldorf;Bergmann;R. B.: Γ-profilometry
