(Hf0.5Zr0.5)O2薄膜の強誘電性評価

(Hf0.5Zr0.5)O2薄膜の強誘電性評価
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(Hf0.5Zr0.5)O2薄膜的铁电性评价

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
舟窪浩
舟窪浩
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
横内達彦;清水荘雄;及川貴弘;白石貴久;木口賢紀;赤間章裕;今野豊彦;Alexei Gruverman;舟窪浩

文献摘要

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