アモルファス炭窒化ホウ素膜の構造および機械的特性評価と体系化
アモルファス炭窒化ホウ素膜の構造および機械的特性評価と体系化
复制标题
非晶碳氮化硼薄膜的结构机械性能评价及体系化
DOI：
--
复制
发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
平田祐樹
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Kosuke T. Goto;Yasuhito Sekine;Takashi Ito;Katsuhiko Suzuki;Ariel D. Anbar;Gwyneth W. Gordon;Yumiko Harigane;Teruyuki Maruoka;Gen Shimoda;Teruhiko Kashiwabara;Yutaro Takaya;Tatsuo Nozaki;James R. Hein;George M. Tetteh;Frank K. Nyame;Shoichi;松下 浩基，石井 陽介，足立 忠晴;平田祐樹
