T.Watanabe et al.: "Atomic-Order Thermal Nitridation of Si (100) and Subsequent Growth of Si"J.Vac.Sci.Technol.A. Vol.19, No.4, Part II. 1907-1911 (2001)
T.Watanabe et al.: "Atomic-Order Thermal Nitridation of Si (100) and Subsequent Growth of Si"J.Vac.Sci.Technol.A. Vol.19, No.4, Part II. 1907-1911 (2001)
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T.Watanabe 等人：“Si (100) 的原子级热氮化和 Si 的后续生长”J.Vac.Sci.Technol.A。
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