Takaomi Matsutani: "Deposition of silicon carbide films using ECR plasma of methylsilane"Adv. Appl. Plasma Sci.. 2. 147-152 (1999)
Takaomi Matsutani: "Deposition of silicon carbide films using ECR plasma of methylsilane"Adv. Appl. Plasma Sci.. 2. 147-152 (1999)
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Takaomi Matsutani：“使用甲基硅烷的 ECR 等离子体沉积碳化硅薄膜”Adv.
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