Hybrid Bonding in Ambient Atmosphere for 3D Integration
Hybrid Bonding in Ambient Atmosphere for 3D Integration
复制标题
环境气氛中的混合键合用于 3D 集成
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Robert Kao
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Akitsu Shigetou;Tilo Hong-Wei. Yang;Robert Kao
