Silicon Nano-Structures Prepared by using Self-Organized Polymer Structures for Dry Etching Masks and Their Surface Properties
Silicon Nano-Structures Prepared by using Self-Organized Polymer Structures for Dry Etching Masks and Their Surface Properties
复制标题
自组织聚合物结构制备的干法刻蚀掩模硅纳米结构及其表面性能
DOI：
--
复制
发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
Yuji Hirai
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Yuji Hirai;Hiroshi Yabu;Yasutaka Matsuo;Kuniharu Ijiro;Masatsugu Shimomura;Yuji Hirai;Yuji Hirai;平井悠司;Yuji Hirai;Yuji Hirai;平井悠司;平井悠司;平井悠司;Yuji Hirai;Yuji Hirai;Yuji Hirai
