An experimental investigation of angular resolved energy distributions of atoms sputtered from evaporated aluminum films
An experimental investigation of angular resolved energy distributions of atoms sputtered from evaporated aluminum films
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蒸发铝膜溅射原子角分辨能量分布的实验研究
DOI：
10.1016/s0168-583x(01)00573-0
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发表时间：
2001
影响因子：
1.3
通讯作者：
H. Döbele
中科院分区：
文献类型：
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作者：
A. Goehlich;D. Gillmann;H. Döbele
