切込み機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究
切込み機構内蔵砥石スピンドルを用いたシリコンウエハの揺動研削に関する研究
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内置切削机构磨石主轴振动磨削硅片的研究
DOI：
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发表时间：
2016
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
藪野真大，北嶋孝之，由井明紀，伊東利洋
中科院分区：
文献类型：
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作者：
久住孝幸; 池田洋; 越後谷正見;中村竜太;赤上陽一;久住孝幸;久住孝幸 赤上陽一 松下大作 佐々木健二 照井伸太朗;久住孝幸，赤上陽一，松下大作，佐々木健二，照井伸太朗;池田洋，久住孝幸，中村竜太，赤上陽一，千葉翔梧，伊賀美里;藪野真大，北嶋孝之，由井明紀，伊東利洋
