单晶硅各向异性力学性能纳米压痕实验研究
单晶硅各向异性力学性能纳米压痕实验研究
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DOI：
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发表时间：
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期刊：
影响因子：
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通讯作者：
梁迎春
中科院分区：
文献类型：
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作者：
白清顺;李德刚;梁迎春
