Flash Lamp Annealing as a Method of Crystallizing Amorphous Silicon Films to form Thick Polycrystalline Silicon Films
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闪光灯退火作为结晶非晶硅膜以形成厚多晶硅膜的方法
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Keisuke Ohdaira
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Linsheng Liu;Kota Sasaki;Noritaka Yusa;Hidetoshi Hashizume;Keisuke Ohdaira;Keisuke Ohdaira
