TiN薄膜の摩擦摩耗特性に及ぼす成膜後加熱処理の影響
TiN薄膜の摩擦摩耗特性に及ぼす成膜後加熱処理の影響
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沉积后热处理对TiN薄膜摩擦磨损特性的影响
DOI：
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发表时间：
2008
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
田邉裕貴,高松徹,三好良夫,前川裕美
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T. Kosaka;Y. Minami;K. Osaka and Y. Sawada;田邉裕貴,高松徹,三好良夫,前川裕美
