熱流体解析によるEBポリッシングメカニズムの解明
熱流体解析によるEBポリッシングメカニズムの解明
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通过热流体分析阐明 EB 抛光机理
DOI：
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发表时间：
2022
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
太田翔也，酒井翼，篠永東吾，岡本康寛，岡田晃
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Hibiki Tajima;Togo Shinonaga;Akira Okada;村上洋，甲木昭雄，佐島隆生，服部佑美;落合大知，藤岡裕大，立野大地，喜成年泰;太田翔也，酒井翼，篠永東吾，岡本康寛，岡田晃
