H.Handa: "Frequency Dependence of Electron Energy Distribution in RF Plasmas" Proc.8th Symp.on Plasma Processings (Nagoya). 409-412 (1991)
H.Handa: "Frequency Dependence of Electron Energy Distribution in RF Plasmas" Proc.8th Symp.on Plasma Processings (Nagoya). 409-412 (1991)
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H.Handa：“射频等离子体中电子能量分布的频率依赖性”Proc.8th Symp.on 等离子体处理（名古屋）。
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