Morphological Changes in Cu Film Patterns Used in the Catalytic Chemical Vapor Deposition of Graphene

Morphological Changes in Cu Film Patterns Used in the Catalytic Chemical Vapor Deposition of Graphene
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石墨烯催化化学气相沉积铜膜图案的形态变化

DOI:
10.1380/ejssnt.2022-035
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发表时间:
2022
影响因子:
0.7
通讯作者:
Tanaka Shukichi
Tanaka Shukichi
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
Tominari Yukihiro;Suzuki Hitoshi;Tanaka Shukichi

文献摘要

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