K.Kudo,Y.Nagashima M.Tamura,S.Tamura A.Ubukata and S.Arai: "Fabrication of GalnAs/GalnAsP/lnP multi-quantum-wires and-boxes by substratepotential-controlled electron cyclotron resonance reactive ion beam etching" Jpn.J.Appl.Phys. 33. 1383-1385 (1994)
K.Kudo,Y.Nagashima M.Tamura,S.Tamura A.Ubukata and S.Arai: "Fabrication of GalnAs/GalnAsP/lnP multi-quantum-wires and-boxes by substratepotential-controlled electron cyclotron resonance reactive ion beam etching" Jpn.J.Appl.Phys. 33. 1383-1385 (1994)
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K.Kudo、Y.Nagashima M.Tamura、S.Tamura A.Ubukata 和 S.Arai：“通过基底电势控制电子回旋共振反应离子束蚀刻制造 GalnAs/GalnAsP/lnP 多量子线和盒”
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