Tsuyoshi Fukuzawa: "Detection of partticles in rf silane plasmas using photoemission method" J.Appl.Phys.80,6. 3202-3207 (1996)
Tsuyoshi Fukuzawa: "Detection of partticles in rf silane plasmas using photoemission method" J.Appl.Phys.80,6. 3202-3207 (1996)
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Tsuyoshi Fukuzawa：“使用光电发射方法检测射频硅烷等离子体中的粒子”J.Appl.Phys.80,6。
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